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電気
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電子
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環境
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エネルギー
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物理
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化学
向川 政治 教授
MUKAIGAWA Seiji
担当
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学部
電気電子・情報通信コース
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修士
電気電子通信コース
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博士
システム創成工学専攻
取得学位
- 博士(理学) 学位の分野：物理学
専門
- 放電プラズマ工学 Discharge Plasma
- 半導体工学 Semiconductor
- 素粒子物理 Particle Physics
私の研究内容
放電プラズマの生成と応用
放電プラズマの生成と応用を主な研究対象としています。放電プラズマは、各種材料の表面改質や半導体デバイスプロセスなどに幅広く用いられています。現在は主に、プラズマまら基板の熱流束の測定や、低誘電率薄膜、大気圧プラズマ、マイクロプラズマの研究、および放電プラズマに関する各種計算を行っています。また、大気圧プラズマの応用として、高分子材料表面処理（親水化、疏水化、窒化）の研究に、学内外の研究者とともに携わってきました。
私の教育ポリシー
電気電子通信工学に必要な数学・物理学・電磁気学・電気回路・電子回路および放電プラズマに関する基礎的な知識の定着をめざし、科学的視野の広いグローバル時代に活躍できる人材の育成を行っている。